台灣護國神山台積電生產超過95%先進位程晶元，除了台灣獨步天下的工藝與完整的半導體供應鏈之外，另一個功臣之一，便是荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾（ASML）的極紫外光刻機（EUV）。外媒路透調查報導，中國由國家主席習近平的親信，七大常委之一丁薛祥主導，以類似美國研製原子彈的「曼哈頓計劃」模式，以舉國之力在深圳打造出第一台EUV原型機。
最新進度指出，雖然這台原型機已能成功產生極紫外光，並可正常運作，但尚未製造出可用的晶元。
路透調查發現，在深圳一座高度戒備的實驗室內，中國科學家已打造出多年來華府極力阻擋的技術成果，即一台可望生產先進晶元的原型機。這類晶元是人工智慧（AI）、智能手機，以及支撐西方軍事優勢武器系統的核心。
這台原型機於2025年初完成，目前正進行測試，體積幾乎佔滿整個工廠樓層。
中央社報導，兩名知情人士透露，這項設備由曾任職荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾（ASML）的工程師團隊打造，透過逆向工程仿製ASML的極紫外光刻機（EUV）。
這些人士表示，中國這台原型機已能成功產生極紫外光，並可正常運作，但尚未製造出可用的晶元。
今年4月，ASML執行長福克（Christophe
Fouquet）指出，中國仍需要「非常、非常多年」才能發展出這類技術。不過，這項率先由路透披露的原型機顯示，中國距離半導體自主的時間點，可能比分析師預期更近了。
從二手市場取得舊款ASML設備零件
儘管如此，中國仍面臨重大技術挑戰，特別是在複製西方供應商生產的高精密光學系統方面。
兩名知情人士指出，透過在二手市場取得舊款ASML設備零件，使得中國打造這台國產原型機。中國政府設定的目標是在2028年前以這套設備製造出可用晶元，但更現實的時間點可能落在2030年，但仍比外界認為的「至少十年」大幅提前。
中國當局未回應置評請求。
這項突破標誌著中國為實現半導體自給自足、歷時六年政府計劃的里程碑，這也是中國國家主席習近平最優先政策之一。儘管中國的半導體目標早已公開，但深圳極紫外光刻機
計劃一直在秘密進行。
這項專案隸屬中國半導體戰略，中國官媒已證實，這項戰略由習近平親信、中央科技委員會主任丁薛祥主導。
習近平親信丁薛祥主導
知情人士表示，中國科技巨擘華為在其中扮演關鍵協調角色，串聯全國數千名工程師、企業與國家研究機構。
消息人士形容，這項計劃堪稱中國版「曼哈頓計劃」（Manhattan
Project）。「曼哈頓計劃」是美國於二戰時期研發原子彈的機密工程。
其中一名人士說：「其目標是讓中國能由中國製造的設備生產先進晶元。中國希望把美國完全排除在供應鏈之外。」
華為、中國國務院、中國駐美大使館以及工信部均未回應置評請求。
全球僅ASML一家公司完全掌握極紫外光刻機技術，設備單價約2.5億美元，是輝達（Nvidia）、超微（AMD）設計、並由台積電、英特爾（Intel）與三星（Samsung）製造的最先進晶元不可或缺的關鍵設備。
目前，ASML的極紫外光刻機系統僅供應給美國盟友，包括台灣、韓國與日本。
美國自2018年開始施壓荷蘭，阻止ASML對中國出售極紫外光刻機系統；2022年拜登政府更擴大出口管制，全面切斷中國取得先進半導體技術的管道。
ASML向路透證實，從未向中國客戶出售任何極紫外光刻機系統。
這些管制也涵蓋較舊的深紫外光（DUV）設備，目的是讓中國在晶元製造能力上至少落後一個世代。
根據知情人士，一名被中方招募參與計劃的前ASML資深工程師發現，他豐厚的簽約金竟伴隨一張使用假名的識別證。進入設施後，他認出多名前ASML同事也都使用化名工作，以維持高度保密。
團隊成員包括多名近期退休、具中國背景的前ASML工程師與科學家，由於他們掌握關鍵技術，又較少受到原公司職涯限制，因而成為主要招募對象。
路透訪問的兩名現任ASML中籍員工表示，他們自2020年以來就遭華為獵才。華為未回應置評請求。
荷蘭情報機構今年4月警告，中國透過廣泛的間諜計劃，以招募西方科學家與高科技企業員工等方式取得先進技術。